10月27日,山西转型综改示范区入区企业山西鼎芯晶体材料有限公司生产车间内,一排排蓝宝石长晶炉设备整齐排列、稳定运转,蓝宝石晶体正在炉内逐步成型。技术人员紧盯设备实时参数,仔细记录晶体生长全周期数据。进入四季度以来,公司生产线满负荷运转,正开足马力冲刺年度生产目标。
作为国内化合物半导体材料研发与加工制造领域的领军型企业,山西鼎芯晶体材料有限公司已在综改区建成占地85亩的化合物半导体晶体材料生长与加工基地,300余台(套)全流程工艺设备投入运行。依托母公司青岛华芯晶电十余年的晶体生长与衬底加工技术沉淀,山西鼎芯现已突破400—1000千克级超大尺寸蓝宝石晶体生长技术,逐步打通10—12英寸衬底的深加工工艺,具备从晶棒到最终抛光片的全工序制造能力,掌握低损耗多线切割、精密减薄、CMP抛光、边缘成型及表面缺陷量测等多项核心硬脆材料加工工艺。
走进生产车间,各环节衔接紧密。单晶炉内,原材料在高温环境下充分熔融,再经过退火、梯度降温等多道精密程序,最终结晶形成高品质蓝宝石晶体。后续加工环节中,技术人员使用高精度仪器对晶棒依次完成切割、磨削、抛光等工序,每一件产品都要经过多轮严苛质量检测。
凭借持续的技术深耕,山西鼎芯近年产值始终保持年均80%的高速增长。今年10月,企业成功入选山西省民营经济发展局公布的民营科技新锐企业名单。成绩背后,是扎实的技术储备支撑。目前企业已累计拥有27项专利,其中发明专利12项,整体技术水平处于国内第一梯队。
近期,山西鼎芯在技术端再次取得进展,一项名为“基于多模态数据的蓝宝石晶体的检测方法及系统”的发明专利获得授权,该技术可提升蓝宝石晶体复检的精准性;同步获得授权的“一种高安全的节能式蓝宝石长晶设备”实用新型专利,针对长晶炉冷却结构完成优化升级,有效解决散热效率问题。两项新专利的落地,让检测更精准、设备运行更稳定,直接带动产品良率和有效产出率进一步提升。
山西鼎芯晶体材料有限公司相关负责人表示,下一步将持续加大研发创新投入,攻坚半导体材料领域核心技术,稳步扩大产业规模,致力打造全球领先的化合物半导体材料产业领军企业,为山西新材料产业高质量发展注入更强动力。(高朋)